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日本公司成功开发超高纯2英寸金刚石晶圆的

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近日,日本安达满纳米奇精密宝石有限公司(AdamantNamikiPrecisionJewelCo.Ltd.)宣布成功开发了超高纯度2英寸金刚石晶圆的量产方法。图4mm×4mm晶片(左)和2英寸(55mm直径)超高纯金刚石晶片(右)这种超高纯度金刚石含有不超过3ppb(十亿分之一)的氮原子,这是量子计算机、量子存储器和量子传感设备等量子应用所需的。新开发的金刚石晶片直径为2英寸(约55毫米),远大于目前可用的4mm×4mm晶片。这项新技术有望推动量子应用的发展。AdamantNamiki计划在年将该产品商业化。年9月9日,AdamantNamiki与佐贺大学合作,使用独特的阶梯式流程方法成功生产了直径为2英寸的晶圆(商品名:KENZANDiamond?)。然而,该方法利用氮气实现了适合大规模生产的高生长速率,但留下了几ppm(百万分之几)的氮杂质,影响量子应用。从那时起,AdamantNamiki改进了其生产方法,以实现其超高纯度2英寸金刚石的氮含量不超过3ppb,使其适用于量子应用。相比之下,含氮不超过3ppb的市售超高纯度金刚石晶片只有4mm×4mm。虽然这种晶圆尺寸可以用于基础研究,但对于实际应用来说太小了。AdamantNamiki开发了一种新的2英寸金刚石晶圆量产技术,几乎消除了晶体生长过程中的氮污染,从而实现了超高纯度。理论上,一块2英寸的金刚石晶片可以提供足够的量子存储器来记录10亿张蓝光光盘。这相当于一天内分布在全球的所有移动数据。AdamantNamiki计划开发包括抛光技术在内的外围技术,为年的商业生产做准备。这将大大加快对使用大直径金刚石晶片的量子器件的研究。来源:AdamantNamiki了解更多半导体相关信息,欢迎加入艾邦半导体产业


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