全自动划片机的工作原理
全自动划片机是一种特殊的精密切割设备。切割前,外径通常为6至12英寸,依据用户的不同需求切割成不同尺寸的晶粒。砂轮切割工艺,又称切割或切割,是以强磨为手腕,经过空气静压支撑电轴驱动超薄金刚石刀片高速旋转,用刀片上的细磨粒接触加工资料,使切割资料破碎,同时,工件工作台沿刀片与工件接触方向直线挪动,然后在刀具自身旋转和切割水的作用下,最终完成工件别离或开槽。
如图1所示,全自动划片机划切原理普通来说,划片机切割工件是圆形或方形的硬、脆、薄资料,如硅晶圆、蓝宝石基板、LED基片等。在软件系统的控制下,由伺服电机驱动X、Y、Z工件按预设尺寸别离,三个方向往复运动,0轴向旋转。
如图2所示,晶圆划切表示双轴晶圆切割机为12英寸全自动划片机。全自动切割机是从装载、位置校准、切割、清洗/枯燥到卸载的一系列工序。切割机的切割机理是强力磨削、强力磨削的执行单元—空气静压电主轴单元,完成对准系统和自动清洗系统是全自动切割机的关键。