优可测Atometrics白光干涉仪AM系列搭载着超高精度扫描单元——压电陶瓷
纳米级步进！逐层扫描还原真实三维形貌，让微小瑕疵、细微划伤无所遁形。今天小优博士带您了解压电陶瓷在白光干涉仪内的重要作用。通过前几期文章，相信大家已初步了解白光干涉仪实现纳米级测量精度的原理。前两期传送门白光干涉仪如何选择镜头丨科普篇如何验证白光干涉仪精度丨科普篇01
压电陶瓷PZT
压电陶瓷PZT通过给予电压信号产生相同间距的微量位移，负载镜头进行逐层扫描。是白光干涉仪实现精细逐层扫描核心硬件。是测量精度和三维图像真实还原度的决定性因素。区别于步进电机，压电陶瓷有着如下几个明显优势①步进低于几十纳米甚至几纳米②步进线性均一③步进可控性强
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压电陶瓷精细扫描案例
图1金刚石工具表面(ER-拍摄)金刚石表面细节丰富细腻图像真实还原性极高图25nm台阶高度测量(NA-拍摄)低于10nm的超微台阶轻松应对图3超光滑镜片表面粗糙度（NA-拍摄)
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三大特点
优可测Atometrics白光干涉仪AM系列搭载的压电陶瓷“高精度”“大量程”“高速度”白光干涉仪具体还由哪些重要的硬件组成呢？
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