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鹏城半导体热丝法CVD金刚石设备生产厂家

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金刚石是一种典型的多功能极限材料,在电学、光学、热学、力学声学和电化学方面具有优异性能,在众多高新技术领域具有广阔的应用前景。20世纪80年代之后,化学气相沉积(CVD)技术制备金刚石涂层促进了其广泛的应用,引发了席卷全球的“金刚石热”。90年代后,随着金刚石涂层工业化制备技术的出现,金刚石涂层产业开萌生。金刚石涂层工具、金刚石热沉、金刚石光学窗口、金刚石膜基探测器及传感器和金刚石电极等一系列高技术附加值产品开始进入市场,极大地推动了精密加工、生物医学、电化学、传感与探测和半导体等领域的产业升级。

21世纪初我国开始出现CVD金刚石产业,目前主要涵盖硬质合金基金刚石涂层工具和模具,工具级、热沉级和光学级金刚石自支撑膜,并呈现出良好的发展势头。并且,我国的金刚石涂层研究一直受到国家有高度


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