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晶盛机电全自动金刚石生长炉研发成功

晶盛机电最近官宣,公司晶体实验室经过半年多的工艺测试,全自动MPCVD法生长金刚石设备(型号XJLA)成功生长出高品质宝石级的金刚石晶体,这标志着继硅、蓝宝石、碳化硅晶体生长设备之后,晶盛机电设备家族再添一新成员。   金刚石晶体又称钻石,是碳化硅、氮化镓之后具有代表性的新一代半导体材料,被誉为“终极半导体”材料,还广泛用于取代天然钻石的高端首饰领域。   MPCVD方法生长金刚石晶体具有速度较快、质量好、尺寸大等优点。此次XJLA金刚石生长炉还成功解决了传统的MPCVD培育钻石生长技术的行业痛点:对多晶及生长裂纹等缺陷的判断,对晶体温度和生长厚度等关键生长参数的控制都依赖人工判断,克服了目前人工培育钻石过程中质量控制和规模化生产的瓶颈。长晶测试表明,该设备能一次生产20颗以上4-5克拉毛坯钻石。另外设备稳定性好,综合生长良率高,为大规模的生产提供了自动化操作的基础。项目负责人表示,目前已经完成了设备定型和批量工艺开发,设备即将投放市场,能为客户提供一站式解决方案。

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