清碳科技首炉批量工艺金刚石单晶试产成功

近日，北京清碳科技有限公司MPCVD金刚石工艺实验室示范线首炉批量工艺金刚石单晶毛石顺利出炉，晶体成品率达%，单颗5—10克拉。金刚石半导体材料产业基地项目为清华大学科技成果转化项目，总投资1.1亿元，一期在中关村顺义园建设MPCVD单晶金刚石工艺实验室，开展超纯单晶MPCVD大装备攻关及电子级金刚石的规模工艺研发。

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