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一文读懂硅片切割机轴承位及轴承室磨损的综

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硅片切割机采用金刚石线切割技术,其原理是通过轴高速旋转并往复回转的绕丝筒带动金刚石线做往复运动,金刚石线被二个张紧线轮(弹簧或气动)所张紧,同时加设二个导向轮以确保切割的精度和面型。通过自动控制工作台向金刚石线控制台方向不断地进给,从而使金刚石线与被切割物件间产生磨削而形成切割。切割过程中,由于金刚石线直径小,且具有弹性,金刚石切割线在被被切割物件和位于其左右的两个导向轮之间形成了一个张角,金刚石线呈微弧状。因此施加到被切割物件上的力联同金刚石线与被切割物件间的相对运动,才使切割不断得以进行。切割机磨损的原因分析造成切割机类出现磨损的原因有很多,主要的原因就是用来制造轴的金属特性决定的,金属虽然硬度高,但是退让性差(变形后无法复原),抗冲击性能较差,抗疲劳性能差,因此在长期高速运转下极容易造成粘着磨损、磨料磨损、疲劳磨损、微动磨损等,大部分的轴类磨损不易察觉,只有出现机器高温、跳动幅度大、异响等情况时,才会引起人们的察觉,但到人们发觉时,大部分轴都已磨损,从而造成机器停机。硅片切割机由于对修复精度要修比较高,在设备运行时几乎要求零跳动,所以修复难度较大。切割机轴承室由于其强度高,硬度在部件运行过程中受到震动冲击和其它的复合力经常导致金属部件产生“硬对硬”关系,随着时间加长,部分冲击变形成为永久变形,恢复应力下降,导致硬度相对较低的部件磨损。在设备长期运转过程中,轴承室表面受到轴承外圈的挤压力和复合机械力的作用,出现永久性变形。然而金属材料的退让性差,容易造成配合间隙,如不及时发现并采取措施,就会造成间隙不断扩大,直接造成轴承室磨损。切割机轴磨损修复工艺传统修复工艺:国内针对轴类磨损一般采用的是补焊、镶轴套、打麻点等,如果停机时间短又有备件,一般会采用更换新轴。补焊本身容易使轴表面局部产生热应力,造成断轴的隐患,而且补焊需要花费大量的人力和时间对设备进行拆卸、运输和安装,其修复时间较长,综合修复费用高,长期的停机停产也将给企业造成大量的经济损失。镶轴套、打麻点修复工艺存在配合面是点接触问题,不是面接触,给设备长期安全运行留下隐患。对于轴承室磨损,传统工艺采用补焊后镗孔,或者采用电镀工艺进行处理,但是无论采用何种工艺,其最大缺点就是必须将设备大量拆除运输,其投入的人力物力比较大。另外电镀工艺局限性也比价大。福世蓝高分子复合材料修复工艺:该修复工艺可根据不同磨损情况采用不同修复方案,利用高分子复合材料现场对磨损部位进行修复,在保证修复精度和满足安装要求的基础上,无需对设备进行大量拆卸,修复周期短,一般8-12小时内完成修复和安装工作。修复工艺费用较传统修复工艺低,一般根据轴承位或轴承室的磨损量来核算高分子复合材料的用量,进而核算修复成本。现场案例调查我司技术人员前往某企业针对硅片切割机轴承位、轴承室磨损进行修复,硅片切割机轴承位标准尺寸mm(+0.01mm—0.02mm),磨损量为单边0.2mm左右,轴承室标准尺寸mm(-0mm—0.03mm)磨损量为单边0.3mm左右,硅片切割机由于对修复精度要修比较高,修复完成后轴承位轴向调动控制在0.01-0.03mm左右,轴承室跳动0.05-0.06mm左右。现场修复过程


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